당사는 고압어닐링장비의 개폐장치 관련 HPSP의 특허 제1553027호에 대하여 2건의 소극적권리범위확인심판을 청구하였고, 2025. 4. 25. 모두 청구 인용 받아 승소하였습니다.
소극적권리범위확인심판이란, 당사의 확인대상발명이 HPSP의 특허 권리범위 내에 있는지 여부를 판단하는 절차로서, 위 심판 청구가 인용되었다는 것은 당사의 확인대상발명이 HPSP의 특허를 침해하지 않는다는 점을 판단 받은 것입니다. 따라서 이는 HPSP가 해당 특허를 근거로 당사에 대하여 제기한 침해소송과도 밀접한 연관이 있습니다.
HPSP는 이 사건 특허를 근거로 당사에 대한 침해 소송을 제기하였으나, 침해에 대해서는 어떠한 객관적인 증거도 제시하지 못하였습니다. 이처럼 아무런 근거도 없이 소송을 제기한 것은, 소송이 제기되었다는 사실 자체를 통해 당사의 영업을 방해하려는 목적이었던 것으로 보입니다. 그럼에도 불구하고 당사는 신속한 판단을 받기 위해, 당사의 기술을 먼저 공개하여 특허심판원의 심결을 받기에 이른 것입니다.
위 2건의 심판을 통해 판단된 당사의 확인대상발명들은, (i) 특허와는 달리 외부회전체결링이 아예 없고, 외부도어 자체가 회전하는 방식인 구조와(2024당3204 사건), (ii) 외부회전체결링이 없을 뿐만 아니라 도어가 2개가 아니라 1개인 ‘원도어 구조’(2024당3205 사건)의 2가지입니다. 이처럼 특허심판원은 당사의 2가지 제품의 구조가 모두 HPSP의 특허와 상이하고, HPSP의 특허를 침해하지 않는다는 점을 명확히 판단하였습니다.
당사의 확인대상발명들은, HPSP의 특허발명의 개폐장치와는 전혀 상이한 기술적 특징과 구조를 통해, 반도체 공정상에서 필수적인 밀폐 기능을 달성하며, 안정적이고 신뢰성 높은 공정을 가능하게 합니다. 특허심판원에서도 이러한 확인대상발명의 특징과 실시가능성을 인정하여 당사의 청구를 모두 인용하였습니다.

한편, 위와 같은 소극적권리범위확인심판의 대상 특허에 대해서 당사는 무효심판도 청구한 바 있습니다. 이에 대하여 특허심판원에서는 무효가 아니라고 판단하여 심판 청구를 기각하였습니다만, 당사는 이에 대하여 특허법원에 심결취소소송을 제기하며 새로운 무효 증거를 제출하였고, 특허법원에서는 명확히 무효로 판단될 것으로 보입니다.
그런데 무효심판 과정에서는 HPSP가 특허의 정정을 청구하여 추가적인 구성요소(완충지지수단)를 추가하였으므로, 현재 무효 심리의 대상이 되고 있는 정정된 특허발명은 소극적권리범위확인심판의 판단 대상이 된 (정정 전) 특허발명보다는 권리범위가 좁아진 상태입니다.
당사는 소극적권리범위확인심판을 통해 당사의 확인대상발명이 정정 전 특허발명의 권리범위에도 속하지 않는다는 점을 명확히 판단받았으므로, 그보다 권리범위가 더 좁아진 정정 후 특허발명의 권리범위에도 속하지 않음은 법리상 당연한 결과입니다.
따라서 특허침해소송에서 정정 전후 어느 특허발명의 권리범위를 기준으로 하더라도, 당사의 확인대상발명들이 그 권리범위에 속하지 않아 특허 침해에 해당하지 않는다는 점은 명확해졌다고 할 것입니다.

심결내용과 관련한 HPSP의 주장에 대해 조금 더 설명드리겠습니다.
HPSP는 2024 당 3204에 대해 심판부가 당사 확인대상 발명의 일부구성이 반도체 공정상의 문제를 일으킬 수도 있다는 전제로 발명이 다르다고 판단했다고 주장하는데 조만간 심결문이 공개되면 확인하실 수 있겠지만 이는 사실과 다릅니다. 심결문 어디에도 그런 전제는 없으며, 오히려 심판부는 ‘그러한 피청구인(HPSP)의 주장은 인정되지 않는다’라고 판시하고 있습니다.
또한 HPSP는 ‘심판부는 예스티가 청구한 확인대상발명이 당사 특허 발명이 해결하고자 하는 과제를 달성할 수 없어 당사 특허와 다르다고 판시하였다’고 주장하고 있습니다. 하지만 심판부는 ‘특허발명은 외주챔버 외주에 설치된 회전체결링을 일정방향으로 회전시키는 간단한 동작만으로 외부챔버 도어를 개폐하고 이물질 유입을 방지하는 하는 과제를 달성할 수 있으나, 외부챔버 도어 자체가 회전하는 확인대상발명에는 이와 같은 과제를 달성할 수 있다고 보이지 않으므로’라고 판시하였는데 이는 당사 구조는 회전체결링이 없으니 회전체결링을 회전시키는 과제를 달성할 수 없다는 것이며 곧이어 ‘회전체결링을 회전하여 외부챔버를 밀폐하는 것과 확인대상발명의 외부챔버 도어 자체가 회전하여 외부챔버를 밀폐하는 것은 과제해결원리가 다른 것이다’라고 명확히 설명하고 있습니다. 그럼에도 H사는 이를 마치 당사의 구조는 밀폐라는 과제를 달성할 수 없어 HPSP의 특허와 다르다고 판시했다고 입장문에 표현하여 심판부의 심결을 곡해하고 있습니다.
HPSP는 2024 당 3205와 관련해서도 심결과정 의견서에서 당사의 구조가 특정된 것이라면 이는 HPSP의 특허 권리범위에 속하지 않고 이를 다투지 않으니 심판을 각하시켜달라고 의사를 표현했음에도 금번 심결 결과에 대해 특허법원에 항소하겠다고 입장문을 통해 밝히기도 했는데 이는 심판과정에서의 주장과 전혀 상반된 내용입니다.

당사는 고압어닐링장비 개발 초기부터 당사의 고압 기술력을 바탕으로 장비를 개발하였으며, HPSP의 특허에 대한 침해의 소지를 원천적으로 차단해 왔습니다. 금번 소극적 권리범위확인 심판의 승소는 고객사 및 시장이 당사의 독자적인 기술력은 물론, 특허 관련 전략과 대응 능력을 인식하는 계기가 될 것입니다.
당사는 그동안 글로벌 반도체회사들과 수백회의 양산 전 PW(Product Wafer) 테스트를 진행하였으며, 고객사는 당사 설비의 뛰어난 성능과 생산성에 크게 만족하고 있습니다. 또한 당사는 고객사의 공정상 필요에 따라 75매, 125매 장비를 선택적으로 제공할 수 있고 공정시간 또한 경쟁사보다 짧아 고객으로부터 생산성 측면에서도 매우 뛰어나다는 평가를 받고 있습니다. 당사는 고압전문기업으로 수십에서 수백기압을 다루는 장비를 제조해 왔으며, 안전인증을 비롯한 양산 테스트 준비도 마친 상태입니다. 금번 심결을 계기로 고객사들과의 양산 테스트가 빠르게 진행될 것으로 예상되며 양산테스트 후 빠르면 연내에 가시적인 성과를 거둘 수 있을 것으로 기대합니다.
HPSP의 아무런 근거도 없는 특허침해소송 제기로 인하여 당사의 시장 진입이 1년 이상 지연되었으나, 당사의 확인대상발명들이 HPSP 특허발명의 구조와 명백히 다르다는 판정을 받은 만큼, 고객사와의 납품 논의가 예정대로 빠르게 진행될 것이며, 이에 대해서는 고객과의 NDA를 위반하지 않는 범위에서 충분히 시장과 소통해 나가겠습니다.