Summary
층간 절연 소재(CCL FILM)가 도포된 기판에 대해 미세 기포 제거 및 표면 경화
Process Performance & Productivity
- 효과: VOID 최소화 및 접착 강도 증대
- Work Size: 510mm(W) * 515mm(D) * 0.1~2.5T
- Pressure Range: Max. 10kg/㎠
- Design Pressure: 12kg/㎠
- 수압 TEST Pressure: 13kg/㎠
- Pressure Uniformity: ±0.1kg/㎠
- Temp. Range: Max. 220℃
- Design Temp: 240℃
- Temp. Rising: 4℃ /min
- Cooling: Radiator
- Temp. Cooling: 2.7℃ /min
- Temp. Uniformity: ±3℃ (모니터링 12 POINT 기준 , 시료 30 POINT 기준 )
- Vacuum pump: 5Torr / 2min
