Semiconductor

Chiller (초저온 / Single & Dual)

반도체 프로브 스테이션(EDS) 공정에서 요구하는 고발열 칩에서 발생하는 열을 제거하는 초저온 칠러

Chiller (초저온 / Single & Dual)
Specifications

제품 사양

Cooling Capacity
6,000W @ -60℃ (Cold Process)
온도 안정성
-65℃ ±0.2℃
냉동방식
Auto Cascade (Compact Size)
제어방식
Hot Gas 제어를 통한 에너지 세이빙
구성
Dual Type 1대로 Prober 2 Stage 동시제어