웨이퍼 제조 공정 전반의 열처리 및 정밀 환경제어 장비를 공급합니다.
고압 D2 Anneal로 Silicon Dangling Bond를 Passivation하는 장비
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웨이퍼 산화·증착 공정용 확산로
Mold Wafer / FAN-OUT 진공 Anneal 장비
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TSV 저온 공정 전용 퍼니스
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웨이퍼 가압 Cure 공정 장비
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고정밀 열처리 퍼니스 라인업
Humidity Conditioner 모듈
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정밀 온도제어 칠러 시스템
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웨이퍼 스마트 보관 시스템
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고온/저온 테스트 챔버
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