Semiconductor

NEOCON

질소(N2) 공급 없이 기존 EFEM 부분개조를 통해 N2 EFEM과 유사한 저습도 환경을 구현하는 장비

Specifications

제품 사양

습도 관리 수준

EFEM 내부 습도 RH 9% 이하 관리

적용 방식

기존 EFEM 공조 System + 제습 모듈 추가

장점

상대적 저비용, 신규설비 적용 및 기존설비 개조 모두 가능

N2 EFEM 대비

고비용·환경안전 이슈 없이 유사한 저습도 환경 구현