Display

Oxide Furnace

산화물 TFT 제조를 위한 대면적 열처리 설비

Oxide Furnace
Specifications

제품 사양

고정온도
300~400℃ (Max 500℃)
Temp Control
위상/MIMO/Zero Crossing 제어 (±2.5℃ 이내)
청정도
Particle Free
적용공정
Oxide TFT 열처리
Glass 대응
~8세대(8G)