Semiconductor

Smart Storage

ETCH 공정이 완료된 Wafer와 공정대기 중인 Wafer를 분리하여 흄(Fume)을 제거해주는 장비

Smart Storage
Specifications

제품 사양

Cassette Unit
기울기 센서 적용
유지보수
무정지 PM (Simple Door 적용)
Fume 억제
전면/후면 선택 가능