Semiconductor

Auto Clave

반도체용 공정설비로 Multi Stack, Flip Chip 등 제작 시 Filler를 충진한 자재를 가압·Cure하여 Void를 제거하고 경화를 수행하는 장비

Auto Clave
Specifications

제품 사양

Pressure
~10 bar
Pressure Control
승압·감압 (다단 Valve 제어)
Temperature
100℃ ~ 180℃
Temp Uniformity
±2℃
Heating Method
Convection
Conveyor Type
비접촉 Magnet Conveyor Type
FA 대응
AGV, OHT, Customer Carrier