Display

Convection Oven / IR Oven

外部の汚染要因や水分を遮断し、デバイス特性を安定化させたり有機膜を硬化させたりする熱処理設備です。

Convection Oven / IR Oven
Specifications

製品仕様

温度使用範囲
80~250℃ (拡張時120~400℃)
温度安定性
±2℃
清浄度
Class 10~100
適用工程
Oxide TFT Annealing, AMOLED Glass Loading(Inline)
搬送方式
Shutter個別動作の枚葉搬送