Semiconductor

Hot & Cold Chamber

Deviceの信頼性を保証するため、Chamber内でRecipeに従い低温・高温の極限環境を実現する装置です。

Hot & Cold Chamber
Specifications

製品仕様

Slot構成
12 / 24 / 48 / 60 Slot
Temp Range
-40℃ ~ 150℃
Temp Uniformity
±2℃
通信
RS232またはRS485, Ethernet Card
UI
Touch Panelベース