Semiconductor

NEOCON

窒素(N2)供給なしに、既存EFEMの部分改造を通じてN2 EFEMと同様の低湿度環境を実現する装置です。

NEOCON
Specifications

製品仕様

湿度管理レベル
EFEM内部の湿度をRH 9%以下に管理
適用方式
既存EFEMの空調System + 除湿モジュール追加
メリット
相対的に低コストで、新規設備への適用および既存設備の改造の両方が可能
N2 EFEM比
高コスト・環境安全の問題なく、同様の低湿度環境を実現