Semiconductor

Smart Storage

ETCH工程が完了したWaferと工程待機中のWaferを分離し、Fume(ヒューム)を除去する装置です。

Smart Storage
Specifications

製品仕様

Cassette Unit
傾斜センサーを適用
メンテナンス
無停止PM (Simple Door適用)
Fume抑制
前面/後面の選択が可能