Semiconductor

Auto Clave

半導体用の工程設備で、Multi StackやFlip Chipなどの製作時にFillerを充填した材料を加圧・CureしてVoidを除去し、硬化を行う装置です。

Auto Clave
Specifications

製品仕様

Pressure
~10 bar
Pressure Control
昇圧・減圧 (多段Valve制御)
Temperature
100℃ ~ 180℃
Temp Uniformity
±2℃
Heating Method
Convection
Conveyor Type
非接触Magnet Conveyor Type
FA対応
AGV, OHT, Customer Carrier