Semiconductor

Chiller (超低温 / Single & Dual)

去除半导体探针台(EDS)工艺中高发热芯片产生热量的超低温冷水机(Chiller)

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Chiller (超低温 / Single & Dual)

Specifications

产品规格

制冷能力

6,000W @ -60℃ (Cold Process)

温度稳定性

-65℃ ±0.2℃

制冷方式

Auto Cascade(紧凑型)

控制方式

通过Hot Gas控制实现节能

系统构成

Dual Type一台设备可同时控制2个Prober Stage

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