Semiconductor

NEOCON

无需供应氮气(N2),通过对现有EFEM进行部分改造,实现与N2 EFEM相似的低湿度环境的设备

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NEOCON

Specifications

产品规格

湿度管理水平

EFEM内部湿度控制在RH 9%以下

应用方式

在现有EFEM空调系统基础上增设除湿模块

优点

相对低成本,可应用于新设备,也可对现有设备进行改造

与N2 EFEM相比

无需高成本及环境安全隐患,即可实现相似的低湿度环境

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