Semiconductor

Smart Storage

将ETCH工艺完成的Wafer与待处理Wafer分离,并去除挥发气体(Fume)的设备

产品咨询 →

Smart Storage

Specifications

产品规格

料盒单元(Cassette Unit)

采用倾斜传感器

维护保养

不停机PM(采用Simple Door结构)

挥发气体(Fume)抑制

可选择前置/后置方式

返回事业领域