Semiconductor

Auto Clave

半导体用工艺设备,在制作Multi Stack、Flip Chip等产品时,对填充Filler的材料进行加压固化(Cure),以去除空洞(Void)并完成硬化

Auto Clave
Specifications

产品规格

压力
~10 bar
压力控制
升压·降压(多段阀门控制)
温度
100℃ ~ 180℃
温度均匀性
±2℃
加热方式
Convection
传送方式
非接触式磁性传送(Magnet Conveyor)方式
FA对应
AGV, OHT, Customer Carrier